半导体工艺尾气处理流程及协微解决方案

发布日期:2021-04-14 09:53

从主机台排出的工艺气体通过Foreline管道被真空泵抽至尾气处理器,根据具体工艺要求,在主机台端可集成System trap,在真空泵进口端可安装Foreline trap,在Foreline管道可包裹加热带,从真空泵出口到尾气处理器进口管道上可安装加热带和热氮装置,在真空泵出口可安装节能装置,避免管路腐蚀及粉尘堵塞问题,真空泵尾端可安装节能装置和热氮装置,工艺气体经过尾气处理器处理后,通过湿式静电除尘系统收集含酸水汽NOX和微细粉尘颗粒,并捕捉粉尘,再通入酸碱中和塔进行处理,最后经过厂务端鼓风机将处理完全符合环保排放标准的气体排放至大气。

协微可提供:

①System trap及③Foreline trap,通过改变粉体的物理状态有效拦截粉尘,防止排气管路堵塞,避免工艺运行过程中泵异常卡死,延长干泵运行寿命。

②对于半导体粉尘较多的工艺,协微可提供加热带,包裹在Foreline管路及从真空泵至尾气处理器的管路上,有效防止管路粉尘累积。

④协微提供真空泵维修服务。

⑤在真空泵尾端可安装真空泵节能装置,节能装置可在工艺主机台Idle时减少干泵的功率损耗,以达到节能的目的,此节能装置可实现节能达到40%以上。

⑥对于存在大量粉尘的工艺,协微可供应易安装的热氮装置,或与加热带配合使用,通过维持稳定的温度,有效减少管道粉尘沉积造成的堵塞,明显延长管道维护周期。

⑦协微可提供全工艺系列尾气处理设备,包括NSOW系列、NSOD系列、NSHW系列、NSPW系列、Hybrid系列、NPCR系列。

⑧湿式静电除尘系统配合酸碱中和塔,有效去除主风管中微细粉尘颗粒,同时去除白烟酸性(水汽和粉尘颗粒)、黄烟(NOx),也可应用于普通工业如燃烧电厂,水泥厂,医疗废品焚烧等,可有效去除水汽:含金属颗粒的微细粉尘等,可根据客户的总风量提供定制化解决方案。

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